美國TESCOM 10-X系列免提升閥調壓器產品特點介紹
美國TESCOM 10-X系列免提升閥調壓器是一種微型超高純度和精度的工業氣體 (IGS)/VCR® 減壓型調壓器。10-X 系列采用 10 Ra 微英寸表面處理、免提升閥設計和 316 不銹鋼 VAR 閥體材料。其進口壓力為 150 psig/10.3 bar，出口壓力為 3-30、60 psig / 0.21-2.1、4.1 bar，流速可達 100 SLPM。非常適合用于 OEM 工具、氣箱和低壓氣瓶柜。
美國TESCOM 10-X系列免提升閥調壓器產品特點介紹如下：
適用于高級 OEM 氣體系統的理想產品
高靈敏度壓力控制增強質量流量控制器 (MFC) 性能
在廣泛應用中提供性能
流量：2 SLPM 至 120 SLPM
在微型元件中提供出色的壓降和重復性
膜片與閥體之間采用金屬對金屬設計，實現的密封性
內部表面光潔度為 10 Ra 微英寸
符合 SEMI F19 和 SEMI 模塊化接口規格
默認為哈氏合金膜片
內體積小
美國TESCOM 10-X系列免提升閥調壓器規格
額定壓力最大入口壓力： 150 psig / 10.3 bar
最大出口壓力： 3-30、3-60、0-100 psig / 0.21-2.1、0.21-4.1 bar
材料閥體： 316L 不銹鋼或 316L VAR 不銹鋼
膜片： HASTELLOY®
閥座： PCTFE 或 PTFE
閥桿： HASTELLOY®
彈簧： 316 不銹鋼或 Inconel®
其他材料： 316L 不銹鋼或 316L VAR 不銹鋼
工作溫度-40°C 至 60°C（-40°F 至 140°F）
連接件焊接接頭：1/4 VCR® 或管接頭
表面安裝：1.125 或 1.50 占用空間
流通能力標準： Cv = 0.06
高流量： Cv = 0.1
重量VCR®，IGS：0.60 lb / 0.3 kg
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